粒子计数器的校正原理

1、100级洁净房或洁净台

2、一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器

3、各粒径的标准粒子 

4、*产生脱离水（DI水）的纯水系统或类似装置

5、标准粒子气体产生器

6、其它普通电器

二、校正的基本原理：

      标准粒子通过255粒子产生器由液状雾化成气体，并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路，这时，将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试，并比校0.3um粒径的测试值。如果其平均值在20%以内，认为合格。如果不同型号的粒子计数器，一*要弄清楚其流速，取样时间，取样次数等参数，并且，还要明白怎样理解其测试结果。