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白光干涉仪在TFT中的应用
1
、测量产品:1)TFT 基板与彩色滤光片基板间之
Photo spacer (间隙
子)
2
)TFT电路短路,断路,光阻图布渣滓观测
2
、检测要素: PS 高度
3
、大体尺寸: 2-5个微米
4
、产品特点: 1)间隙子体积微小,常规仪器不易观察,分柱状和球状间隙子。
2
)滤光片和TFT电路
5
、其他检测: 间隙子数量及分布情形
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