海德汉公司的光学扫描型**值光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线-光栅。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长度测量用的光栅尺基体为钢带。海德汉公司用特别开发的光刻工艺制造精密光栅。
AURODUR:在镀金钢带上蚀刻线条,典型栅距40 μmMETALLUR:抗污染的镀金层金属线,典型栅距20 μm
DIADUR:玻璃基体的* 硬铬线(典型栅距20 μm)或玻璃基体的三维铬线格栅(典型栅距8 μm)
SUPRADUR相位光栅:光学三维平面格栅线条,* 强抗污能力,典型栅距不* 过8μm
OPTODUR相位光栅:光学三维平面格栅线条,* 高反光性能,典型栅距不* 过2μm。
海德汉的产品在实际运用中一直广受客户好评,无论是性能还是耐用性一直是行业* * ,接下来就介绍一下它的动态性能。机床效率和机床性能的不断提高必然要求更快的进给速度和更高的加速度,同时还必须保持高水平的加工精度。要快速和准确地传递进给运动,就要求机床和直线光栅尺具有更高的刚性。
海德汉公司的直线光栅尺在测量方向的刚性非常高。这是机床能有高质量和高精度运动的前提条件。此外,光栅尺优良的动态性能还来源于其运动部件重量的进一步减轻。
德国海德汉heidenhain公司研发和生产高质量直线光栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显装置和数控系统。HEIDENHAIN公司的产品被广泛应用于精密机床、电子元件的生产和加工设备、自动化机器系统,尤其是应用于半导体和电子制造业等* 域。特殊的生产设施和测量设备造就了HEIDENHAIN的高质量产品。光刻的主要和次主要生产过程都是在洁净室里完成的,洁净室里配备了特殊的温度稳定和防振动隔离装置。仿形机和其它生产直线和角度刻线用的机械设备都是由德国海德汉heidenhain公司自己研发和制造的。
**测量法是指编码器通电时就可立即得到位置值并随时供后续信号处理电子电路读取。无需移轴执行参考点回零操作。**位置信息来自一系列**码构成的光栅刻线。单* 的增量刻轨信号通过细分生成位置值,同时也能生成供选用的增量信号。增量测量法的光栅由周期性刻线组成。位置信息通过计算自某点开始的增量数获得。由于必须用**参考点确定位置值,因此在光栅尺或光栅尺带上还刻有一个带参考点的轨道。参考点确定的光栅尺**位置值可以准确 到一个测量步距。