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产品资料

CG1100-RTP氧气分析仪

CG1100-RTP氧气分析仪
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  • 产��名称:CG1100-RTP氧气分析仪
  • 产品型号:CG1100-RTP氧气分析仪
  • 产品展商:其它品牌
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简单介绍
CG1100-RTP氧气分析仪 CG1100-RTP氧气分析仪阿美特克公司为半导体工业提供的扩展系列产品。CG1100-RTP氧气分析仪特别为工业上的快速热处理(RTP)晶片制作系统所开发,满足了在RTP工具上使用的特殊需要,处于领导地位的半导体工具制造商已经将其集成进他们*新的RTP和Mini-Batch系统。CG1100-RTP氧气分析仪在百万分之一的浓度检定氧气污染物,提高了过程产量。
产品描述
CG1100-RTP氧气分析仪
CG1100-RTP氧气分析仪阿美特克公司为半导体工业提供的扩展系列产品。CG1100-RTP氧气分析仪特别为工业上的快速热处理(RTP)晶片制作系统所开发,满足了在RTP工具上使用的特殊需要,处于领导地位的半导体工具制造商已经将其集成进他们*新的RTP和Mini-Batch系统。CG1100-RTP氧气分析仪在百万分之一的浓度检定氧气污染物,提高了过程产量。

概述

CG1100-RTP氧气分析仪检测PPM浓度的氧气污染物,提高了过程产量。保护过程不受氧气污染物影响,一旦发现氧气背景在可接受的水平上,停止吹扫,可实现*大生产量。

主要特色

  • 在很宽的操作范围迅速响应。您的系统将会在0.1 ppm到100%氧气的操作量程快速响应。CG1100-RTP分析仪可用于检定氧气污染物和监测净化循环。
  •  容易与工具控制器和数据采集系统集成。CG1100-RTP分析仪配置了一个RS-232端口和两个RS-485端口。配置器软件用于运行参数的初始设置和接受用户提供的软件,以与工具控制器有效集成。可用模拟数字输出和I/O报警。
  • 电子流量计和VSO比例电磁阀。同时运转可自动控制流量,在一系列样品输入/输出压力下使用时,电动控制样品流速。
  • 氧化锆传感器。不同于其他传感器技术,您的系统零氧气读数时不会失效,从而一直保护您的系统。
  • 可选择使用System 2000软件。对Windows 95/98/2000/NT/XP的版本,提供图形用户界面,增强了连接和过程监测。
  • 不占空间。8" x 8" x 8"立方体容纳所有电子装置,RS-232端口,(2)RS-485端口,I/O端口和孤立的模拟输出(4至20 mA)。
CG1100-RTP
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