需求 当今的高纯制造加工过程，尤其是在半导体工业中，需要极高纯度的过程气体以保证产品质量和产量。因此，这些过程由于流动组分放气和意外纯化器超负荷变得更复杂和易受攻击。在污染物蔓延至整个气体管道网络或设备之前检测到是至关重要的。
解决方案 ta7000系列气相色谱专为现今极高纯度应用所设计。ta7000型分析仪操作平台包括一个专用的样品处理系统，一个高灵敏度检测器和数据分析电子装置。ta7000R型分析仪配置了还原气体检测器（RGD）。 ta7000R型分析仪使用RGD传感器，可检测H2和CO。该高灵敏度的检测器的检测限可低于500ppt。可用于氮气、氧气、氦气、氩气样品流的监测。