*新光罩技术(获多国发明**) 1、纯软件工作平台; 2、无需光学尺(光学位移传感器) 3、测量精度与机械精准度无关; 4、**特殊光学技术----无阿贝误差; 5、运送过程颠簸不会造成精度损失; 6、非龙门式大型外架设计,动量隆至*低,无刚性不足与运动迟滞之问题. 7、平面**坐标测量; 8、*新技术荣获多国发明**.