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防静电工作区防静电技术的13项要求
1、ESD防护工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。推荐工作台面尺寸为1200mm×600mm。ESD防护工作台面的对地电阻和表面(点对点)电阻要求见表1。对地电阻测量原理按SJ/T10694的图7,测量电表的一端接到腕带接地插孔上,另一个电极距此0.9m,测量5个点(测量电极以0.9m为半径的绕接地插孔旋转移动),取其平均值。表面(点对点)电阻测量原理按SJ/T106409的图6a,二测试电极相距0.9m,共测量5组数据取平均值。测量时一个电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动。
表1 EPA 内各种器材的静电性能要求
物品
章条号
表面(点对点)
电阻或端以端电阻
对地电阻
穿戴状态下
对地电阻
说明
工作台面
5.6.1
7.5x10
5
~1.0x10
10
7.5x10
5
~1.0x10
9
——
——
地板、地垫
5.6.2
1x10
5
~1.0x10
10
1x10
5
~1.0x10
9
——
——
腕带
5.6.3
——
≤1.0x10
5
——
从内表面对地测量
——
——
7.5x10
5
~3.5x10
7
——
7.5x10
5
~5.0x10
6
——
——
腕带连线端对端测量
鞋束
——
5x10
4
~1.0x10
8
——
存放架
,
运输小车
5.6.4
7.5x10
5
~1.0x10
10
7.5x10
5
~1.0x10
9
——
——
周转容器
5.6.5
7.5x10
5
~1.0x10
10
——
——
——
工作椅
5.6.6
≤1.0x10
10
7.5x10
5
~1.0x10
9
——
——
工作服
5.6.8
1x10
5
~1.0x10
10
1.0x10
5
~1.0x10
10
——
——
防静电鞋、袜
5.6.9
——
——
5x10
4
~1.0x10
10
双脚测量
手套、指套
5.6.10
——
——
7.5x10
5
~1.0x10
10
单只测量
2、ESD防护地板、地垫
除非制造工艺要求需要使用导(静)电地板,EPA应采用静电耗散地板或地垫并接地良好,其对地电阻和表面(点对点)电阻的要求见表1。对地电阻的测量原理按SJ/T10694的图5。表面(点对点)电阻的测量原理按SJ/T10694的图4,每4m2随机抽取5点并取中心对四角4次测量结果的平均值,测量点遗著板的边缘不得小于10mm。
3、ESD防护腕带、鞋束(足跟带)
在ESD防护工作台面的二个角落上应配置供腕带接地用的插孔(即EBP)二个,一个供操作人员使用,另一个供其他相关人员使用。
腕带内表面(与手腕的接触面)对地电阻应符合表1的规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.1条。在腕带被除数佩戴情况下,对地电阻应符合表1的规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.3条。供连接腕带用的腕带连线,其端对端之间的电阻应符合表1规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.2条。在使用腕带不方便的情况下,在使用鞋束(足跟带)进行人体防护接地。鞋束(足跟带)应由静电耗散材料制作,其系统电阻值应符合表1,测量原理及方法按SJ/T10694第6.10条。
4、物品存放架、内部运输小车(物流车)
应能通过支脚或轮子接地,它与工件接触的表面应由静电耗散材料制作。对地电阻和表面(点对点)电阻值应符合不1。对地电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.8条。表面临着点对点)电阻的测量原理及方法近SJ/T10694第6.4.1条。转容器(箱、盘、盒)其内、外表面(点对点)电阻应符合表1规定。电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.7条。
5、工作椅
工作椅应能通过支脚或轮接地,在正常操作情况下与人体接触的表面应由耗散材料制作。工作椅的对地电阻和表面(点对点)电阻值应符合表1规定。对地电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.5.1条。表面(点对点)电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.5.2条。
6、电烙铁
焊头部位应进行硬接地,从焊头到接地系统的电阻应不大于2Ω。
7、工作服
工作服应符合GB12014的规定,其各部分之间应存在着电气连续性。工作服的设计应能保持其在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。必要时,其上应设置专门的接地连接点(见图3),在穿用过程中通过导线接地。工作服的以地电阻和表面(点对点)电阻要求按表1,其测量原理分别见图3和图4。测量电极为圆柱形,直径50mm,重量2kg。
8、防静电鞋、袜
进入EPA的人员应穿用防静电鞋。鞋的性能要求应符合GB4385的规定。在穿用状态下,鞋、袜对地电阻值应符合表1规定,测量原理及方法按SJ/T10694第6.11条。
9、 防静电手套、手指套
防静电手套或指南应由静电耗散材料制作,在佩戴情况下其对地电阻要求就符合表1。对地电阻的测量原理按图5,测量电极为圆形金属板,直径*小20mm,或使用金属夹子。
10、 防静电门
必要时,门反手应能导静电,例如经过防静电处理或由静电耗散材料制作,以便当人员进入EPA时通过手握把手来消除人体电荷。
11、 墙壁、天花板
墙壁、天花板应选用静电耗散材料制作。如选用石膏、石灰等材料,只要其摩擦起电电压不大于该级EPA允许的对地静电电位值(按SJ/T10694第5条方法测试)是可以的,但不允许使用普通塑料或壁纸。
12、 人员培训
凡与EPA相关的工作人员,均需经过基本防静电知识的培训操作人员应掌握各种器具的使用技能和操作规则与方法。
13、静电源控制
凡易于产生摩擦静电的材料,例如普通塑料、橡胶、合成纤维等,在EPA内不准使用。
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