ZYGO 50年以来专注于精密光学计量设备研发与制造,是菲索式激光干涉仪公认的“专家”。
为满足多样化的测试应用需求,ZYGO提供多种型号的菲索式激光干涉仪。今天
小Z就从各个型号的设计理念,优势特点,适用范围等角度,给各位亲介绍下:
如何选择不同型号ZYGO激光干涉仪
Verifire高性价比,经典型
1.2K*1.2K,1X至5X光学缩放,PSI QPSI采样模式。
Verifire是光学加工行业应用*广泛,工业客户*“喜爱”的型号。
· Verifire采用经典设计,在上海组装生产,质量稳定,具有非常高的性价比。
· 它主要用于光学器件表面或者波前的整体形貌测量。
· 其1倍至5倍连续光学缩放,QPSI抗振移相模式,使其对振动环境,和不同尺寸的样品有良好的适应性。
DynaFiz 高分辨率,全能型
1.2K*1.2K,1X
1.7X 3X分立光学缩放,PSI QPSI及DynaPhase瞬态采样模式,Livephase及 Movie动态模式。
DyanFiz是“当仁不让”的全能型选手,无论是高光学分辨率(ITF),还是应对振动或极端扰动环境,DynaFiz都“得心应手”。
· DyanFiz采用高分辨率光学设计,配合ZYGO独有的分立变倍系统,DynaFiz在3倍光学缩放下有着所有ZYGO标准干涉仪,*高光学分辨率ITF,不仅可以测试整体形貌,也用来测试中频误差。
· 它有着***的采样模式。QPSI抗振模式可以在振动环境下,保证测试精度;在极端扰动环境中,则以DynaPhase瞬态模式采样;
· DynaFiz更独有Livephase及Movie动态模式,可以实时观察,或以电影模式纪录多帧数据,形成数据地图“电影”,记录和观察测试结果的动态变化。
Verifire HD 全口径高分辨率
2.3K*2.3K,1X光学缩放,PSI QPSI采样模式 ,DynaPhase瞬态模式可选。
Verifire HD设计上是为了*大程度地去除环境的扰动,测量全口径下,整体形貌以及中频误差。
· 于DynaFiz不同,Veirifire HD期望在全口径下,实现中频测试能力;所以采用2.3K*2.3K采样,配合1X固定变倍系统。
· Verifire HD标配ZYGO砖利抗振模式 QPSI™,可以大幅降低环境振动的影响;同时保留菲索式激光干涉仪*大的优势,共光路干涉;使测试精度,横向分辨率,几乎没有损失。
· Verifire HD通过可选DynaPhase瞬态模式采样,具有在极端扰动环境中瞬态测量能力。
Verifire HDX *高分辨率,展示****的细节
3.4K*3.4K,1X光学缩放,PSI QPSI采样模式 ,DynaPhase动态模式可选。
Verifire™HDX采用全新的光学设计,支持以3.4k * 3.4k(1160万像素)采样,展示出低分辨率干涉仪难以识别的表面特征。Verifire™HDX全口径下具有*高光学分辨率(ITF)。
· Verifire™HDX拥有全口径*强ITF曲线,能满足*苛刻细节测试的需要。
· Verifire HDX标配ZYGO砖利抗振模式 QPSI™,可以大幅降低环境振动的影响;同时保留菲索式激光干涉仪*大的优势,共光路干涉;使HDX具有抗振能力的同时,测试精度,横向分辨率,几乎没有损失。
· Verifire HDX通过可选DynaPhase瞬态模式,也具有在极端扰动环境中瞬态测量能力。