超纯水是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有**、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm（没有明显界线），则称为超纯水。水质纯化可分为:蒸馏法、离子交换法、活性碳吸附法、微孔过滤法、超过滤法、紫外线照射法、电渗析法（EDI）和反渗透法（RO）等等。离子交换法，即是以圆球形树脂（离子交换树脂）过滤原水，水中的离子会与固定在树脂上的离子交换，常见的两种离子交换方法分别是硬水软化和去离子法。硬水软化主要是用在反渗透（RO）处理之前，先将水质硬度降低的一种前处理程序。活性碳吸附法，利用活性碳过滤器的孔隙大小及有机物通过孔隙时的渗透除去非离子性的有机物，一般将活性碳过滤器安装在离子交换树脂之前。微孔过滤法，一般被置于纯化系统中的终使用点，以去除后残留的微量树脂碎片、碳屑、胶质颗粒和微生物。反渗透（RO）法是可达到90%-99%杂质去除率中经济的方法，通常用于过滤除直径小于1nm的污染物。而纯水的水质监测中，关键指标有：电导率/电阻K、总有机碳水平、PH值、热源水平、微生物含量等。
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