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产品资料

HORIBA堀场化学溶液监控系统

HORIBA堀场化学溶液监控系统
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：HORIBA堀场化学溶液监控系统
  • 产品型号：CS-1000
  • 产品展商：HORIBA堀场
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
产品描述

规格


【Basic Specification】

Product name Chemical Solution Monitoring System
Model CS-1000
Measurement item Chemical Concentration, Conductivity, pH
Measurement principle Absorption spectroscopic method, 2-electrode method, Glass electrode
Target chemicals Multi-component chemical solutions used in semiconductor manufacturing processes (Please contact us for details)
Dimension 700 (W) × 610 (D) × 1640 (H) mm (Excluding protrusions)
Weight Approx. 200kg
Wetted materials Cabinet (PFA, PTFE)
Absorbance Monitor (PFA, PTFE, Quartz, Kalrez™)
Conducvitity Meter (PFA, Carbon, Kalrez™)
pH Meter - Drain use (PVC, PTFE, Glass, ETFE, PEEK, Olefinic resin, THV, PFA, Kalrez™, PharMed BPT)
※Karlez™ is trademarks of DuPont de Nemours, Inc.
Conforming standards CE , KC , FCC Rules Part15 , UKCA , SEMI S2




【Condition of installation】

Ambient temperature 20 to 30 degree C (Within ± 0.5 degree/1hour, sudden temperature change should be avoided)
Ambient humidity 40 to 70%RH (Should be no dew condensation)
Power source AC 190～240V (Single-Phase）、50/60Hz
Power consumption Approx. 355VA (Transient electric current at the time of the start is excluded)
Communication Analog Output: Hardwired_4-20mA,  Serial: RS-485_Modbus RTU,  Parallel IO (refer to attachement)
※ Signal output is fixed at 1.5mA when measured values are not updated, such as monitor error.



【Maintenance】

Consumables Replacement parts by customer or HORIBA service engineers.
Halogen lamp (Rated life: approx. 1 year)
Deteurium lamp (Rated life: approx. half year)
Reagent： pH4, pH7, KCl 3.33moL AgCl Saturate (Raplacement term: approx. half year)


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