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无尘室等级，无尘室标准，无尘室等级标准

无尘室等级，无尘室标准，无尘室等级标准是什么？


    依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard(FS)209E,1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级无尘室*大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英?)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

下表为无尘室清洁度的定义：
尘粒数／立方英
级数 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
1 35 7.5 3 1 N/A
10 350 75 30 10 N/A
100 N/A 750 300 100 N/A
1000 N/A N/A N/A 1000 7
10000 N/A N/A N/A 10000 70
100000 N/A N/A N/A 100000 700

无尘室等级，无尘室标准，无尘室等级标准定义

一、无尘室定义

  将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间』。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及微粒子(μm)，且指一般空气清净机无法完全**之灰尘。
无尘室一般分为电子、精密工业用IndustrialCleanRoom（＝ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoom（＝BCR）。

二、联邦规格无尘室等级

   现今一般多奉行美国所制定的联邦规格（U.S. Federalstandard209b）,BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格（美国航空总署 5340.2规格）。
其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3（立方英尺）空气中,含有多少个0.5μ（micro）以上的微粒子,及称为「等级○○」。例如：空气中含有10个0.5μ（micro）以下时,标示为「等级10」。而自然界大气中通常含有300,000～3,000,000个微粒子。

三、在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级

   一般清洁度是指空气的清洁等级，分为等级1、2…….8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米(1微米=千分之1毫米)之尘埃有多少，是以10的乘方表示。亦即是1立方公尺中，0.1微米的灰尘若是在10个以下时为等级1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，以此类推。

   21世纪，*先端产业的发展，加速了产业构造的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型和精密化，尘埃和温湿度的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中使用防尘材料及商品都显得格外重要。

   所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

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