产品详情
  • 产品名称:SuperViewW1白光干涉仪检测亚表面损伤

  • 产品型号:
  • 产品厂商:中图仪器
  • 产品价格:960000
  • 折扣价格:960000
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简单介绍:
SuperViewW1白光干涉仪检测亚表面损伤对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
详情介绍:
SuperViewW1白光干涉仪检测亚表面损伤一体化操作软件,测量与分析同界面操作,预先配置好分析参数,软件自动统计测量数据,实现快速批量测量。基于白光干涉原理,采用扩展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。

产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

SuperViewW1白光干涉仪检测亚表面损伤可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
结果组成:
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。

SuperViewW1白光干涉仪检测亚表面损伤对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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