产品详情
  • 产品名称:中图国产台阶仪

  • 产品型号:NS200
  • 产品厂商:中图仪器
  • 产品价格:0
  • 折扣价格:0
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
NS系列中图国产台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
详情介绍:

NS系列中图国产台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。

中图国产台阶仪

如针对测量ITO导电薄膜的应用场景,NS200台阶仪提供如下便捷功能:

1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;

2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;

3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;


NS系列中图国产台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

中图国产台阶仪

NS系列中图国产台阶仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。


产品功能

1.参数测量功能

1)台阶高度:能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。

3)应力测量:可测量多种材料的表面应力。

2.测量模式与分析功能

1)单区域测量模式:完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度,即可开始测量。

2)多区域测量模式:完成Focus后,根据影像导航图完成单区域扫描路径设置,可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式,一键即可完成所有扫描路径的自动测量。

3)3D测量模式:完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置,并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置,一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。

4)SPC统计分析:支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析,针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。

3.双导航光学影像功能

在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机,在正视导航影像系统中可**设置扫描路径,在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。

4.快速换针功能

采用了磁吸式测针,当需要执行换针操作时,可现场快速更换扫描测针,并根据软件中的标定模块进行快速标定,确保换针后的精度和重复性,减少维护烦恼。

中图国产台阶仪

磁吸针实物外观图(330μm量程)


典型应用

中图国产台阶仪


部分技术指标

型号 NS200
样品观察 500万像素彩色摄像机 正视视野:2.2×1.7mm
探针传感器
超低惯量,LVDC传感器
平台移动范围X/Y 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)
单次扫描长度 55mm
样品厚度 50mm
载物台晶圆尺寸 200mm(8吋)
台阶高度重复性 5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时(测量1μm台阶高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm 630×610×500
重量 40kg
仪器电源 100-240 VAC,50/60 Hz,200W

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

标题:
内容:
联系人:
联系电话:
Email:
公司名称:
联系地址:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
关于我们| 易展动态| 易展荣誉| 易展服务| 易家文化| 英才集结号| 社会责任| 联系我们

备案号:粤ICP备11010883号| 公安机关备案号:44040202000312| 版权问题及信息删除: 0756-2183610  QQ: 服务QQ

Copyright?2004-2017  珠海市金信桥网络科技有限公司 版权所有

行业网站百强奖牌 搜索营销*有价值奖 中小企业电子商务**服务商
以上信息由企业自行提供,信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责,易展仪表展览网对此不承担任何保证责任。