中图仪器SuperViewW1白光干涉仪检测仪器应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。一键式测量及分析,并自动生成测试报告后,不但节约了大量资金,易于维护,方便工人操作;又提高了产品的质量,提升效率,是现代化常用的检测设备。
白光干涉仪检测仪器原理
光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光zui终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
应用示例
3D形貌地图配合色谱图,非常直观,但横向测试范围,纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中,3D AOI(自动光学检测)是对传统精密加工上的升级,弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。抛开光学三维表面形貌仪价格实惠不说,基于白光干涉原理而研发生产的SuperView W1能以非接触的方式,无损检测精密机械加工表面,检测结果以3D数据地图的方式显示,直观地展示了表面纹理特征。
如一款旋转抛物面零件,用于微小位移和角度检测,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,针对其凹面弧形的检测需求,现有的显微测量仪器中,原子力显微镜和共聚焦显微镜,均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除,而以白光干涉为原理的SuperView W1白光干涉仪检测仪器,能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。
通过中图仪器的白光干涉仪检测仪器对工件的三维形貌进行测量,进而确认加工方法的好坏以及设计要求的合理性,然后可以才反过来通过指导加工、优化加工工艺,以加工出高质量的表面,确保零件使用功能的实现。