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岱美拿到采购Filmetrics薄膜厚度测量仪F50-UVX的订单
日期:2024-12-23 18:54
浏览次数:1318
摘要:
岱美拿到采购Filmetrics薄膜厚度测量仪F50-UVX的订单。客户是一家大型中美合资企业,是集科研开发、生产制造、经营销售为一体的专业SOI晶圆生产企业。拥有先进高新技术,主要致力于生产制造太阳能芯片、半导体SOI晶圆产品、外延片材料等产品。订单已于2010年7月完成。
美国Filmetrics公司生产的F50-UVX自动测量产品是基于F20薄膜厚度测量仪系列的升级版,具有多点测试、自动检测、检测速度快、测量精准等优点,该款设备波长范围为200-1700nm,可检测膜层厚度范围在3nm-250um之间,*大可自动测量12寸硅片,可根据实际应用选取扫描点数进行全图扫描,具有2点/秒的快速测量速度。