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岱美再次拿到采购Filmetrics薄膜厚度动态监测仪F30的订单
日期:2024-11-22 13:45
浏览次数:1208
摘要:
岱美拿到采购Filmetrics薄膜厚度动态监测仪F30的订单。客户是中科院下属研究院。是集半导体物理、材料、器件研究及其系统集成应用于一体的***综合性研究所该单位拥有多个国家重点实验室。在国际上享有一定声誉。订单已于2011年3月份完成。
美国Filmetrics公司生产的F30薄膜厚度动态监测仪主要应用于动态检测,可针对样品的沉积速率、n、k值等实时监测,测量精度可以达到1%,动态可以监测100nm以上厚度膜层,客户可根据自身需要选择F30系列不同型号产品。其中F30波段范围为380-1050nm,F30-NIR波段范围为950-1700nm,F30-EXR波段范围为380-1700nm.
客户方使用F30主要应用于MOCVD上针对蓝宝石基底样品进行膜层厚度动态监测。