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供应给国内有名半导体大厂的EVG510键合机和EVG620光刻键合对位一体机经已顺利完成安装
日期：2024-11-22 07:48
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摘要：
岱美从国内有名半导体大厂收到的用于MEMS制造的EVG510键合机及EVG620光刻键合对位一体机订单，已于2011年9月顺利完成安装。
EVG是世界上*大的先进晶圆级键合设备的供应商，其技术和市场占有率遥**于所有其它厂商。在MEMS领域，全球*大的30家MEMS制造商有28家选用EVG的设备来制造他们的产品。EVG的丰富产品线可用于MEMS的不同工艺阶段，包括涂胶/喷胶设备、双面光刻设备、显影设备、键合设备、低温等离子激活设备、临时键合/解键合、紫外纳米压印/热压印/缩接触压印等，各设备都有用于研发及量产的不同型号，支持手动或全自动操作，并且都可支持到*高300mm晶圆。
