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岱美中国与某非晶硅太阳能电池厂商签订MKS残余气体分析仪采购订单
日期:2024-11-17 18:54
浏览次数:1353
摘要:
作为全球知名品牌MKS的授权经销商,2011年11月底,我们岱美中国与某非晶硅太阳能电池厂商签订MKS残余气体分析仪采购订单。
该企业致力于研究、生产非晶硅太阳电池,为了改善设备完好率及产品成品率,他们选择了MKS残余气体分析仪,用于监测CVD生产工艺腔体残余气体成分,其检测浓度可到达200ppb,检测质量范围1-300AMU.
MKS残余气体分析仪被广泛用于CVD,PVD工艺,用来追踪不同工艺反应室的清洗、钝化和积淀过程中的不同种类气体的含量水平,主要应用在:
1.真空腔体内残余气体扫描----Baseline scan
2.测漏----Leak Check
3.生产机台定期维护流程改进----PM optimization
4.制程气体製程杂质含量测量----Gas impurities
5.监控【气体流量控制器】伺服的稳定性----MFC stability
6.终点侦测器----End-point detector
7.制程全程及时控制----In-situ process monitor
2.测漏----Leak Check
3.生产机台定期维护流程改进----PM optimization
4.制程气体製程杂质含量测量----Gas impurities
5.监控【气体流量控制器】伺服的稳定性----MFC stability
6.终点侦测器----End-point detector
7.制程全程及时控制----In-situ process monitor