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岱美中国拿到Filmetrics膜厚测量仪F20e-UV的订单(2016.12)
日期：2024-11-21 22:01
浏览次数：568
摘要：
岱美中国拿到Filmetrics膜厚测量仪F20e-UV的订单，该客户位于深圳市, 成立于1999年, 深圳市委、市政府对其组建与建设给予了高度重视和大力支持。并在2004年，建成为国家高技术863-804主题光电诊断技术重点实验室。其主要研究方向是：半导体光电子材料与器件，主要研究氮化镓为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物的外延生长技术，GaN、SiC、Al2O3等衬底材料的生长制备技术，Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体器件、化合物半导体射频集成电路、光电子有源器件及用于超大规模集成电路(ULSI)的低介电常数薄膜的制备技术。
F20e-UV膜厚测量仪采用的是波...
岱美中国拿到Filmetrics膜厚测量仪F20e-UV的订单，该客户位于深圳市, 成立于1999年, 深圳市委、市政府对其组建与建设给予了高度重视和大力支持。并在2004年，建成为国家高技术863-804主题光电诊断技术重点实验室。其主要研究方向是：半导体光电子材料与器件，主要研究氮化镓为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物的外延生长技术，GaN、SiC、Al2O3等衬底材料的生长制备技术，Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体器件、化合物半导体射频集成电路、光电子有源器件及用于超大规模集成电路(ULSI)的低介电常数薄膜的制备技术。
F20e-UV膜厚测量仪采用的是波长范围在190-1050nm的可见光干涉测量，能够测量1nm-40um范围的膜层厚度，准确度高达0.4%或2nm，精度为0.1nm，是一款性价比很高的膜厚测量设备。
