产品目录
- EVG 晶圆封装工艺设备
- DELCOM薄膜电阻计
- FSM
- Schmitt 粗糙度测量仪
- MicroSense振动样品磁强计
- MicroSense电容式位移传感器
- Herzan
- Herz 防振台 隔振台
- Filmetrics光学膜厚测量仪
- 美国4D动态光学干涉仪
- Chaona 3D光学轮廓仪
- FEI 电子显微镜
- Imago 三维原子探针
- BrightSpot
- AEP
- BeneQ
- Bruker 能谱系统
- SNU
- WaveCatcher场地测量服务和工具
- 主轴跳动误差分析仪 主轴运动误差测试系统 主轴误差分析仪
- MKS流量计
- MKS压力计
- MKS残余气体分析仪
- MKS远程等离子体源
- SCI 等离子清洗设备
- Simax 步进式光刻机
- CERES
- CETR
- CleanLogix
- Dover
- Essemtec
- First Nano
- Gatan
- Honda Electronics
- Imago
- Invenious
- Kayex
- Laser Prismatics
- LESCO
- MAT
- mks
- n&K Technology
- nPoint
- Polyteknik
- ShB
- Solar Metrology
- SST
- Tailor
- Tau Science
- Thermo Noran
- VIC
- WestBond
- 其它
- 二手仪器及零件
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香港总公司：
00852-24153601
产品详情
简单介绍：
MKS流量计（质量流量控制器）：
• π系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器-MKS流量计
• ALTA® 系列金属密封数字质量流量控制器-MKS流量计
• 金属和弹性密封型热质量流量控制器-MKS流量计
• 以压力为基准的质量流量控制器-MKS流量计
• 实时流量校验器-MKS流量计
• 流量比例控制器-MKS流量计
• 质量流量计电源，读数输出及附件
详情介绍：
MKS 是全球*有名的先进生产工艺控制设备供应商之一， 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。 MKS 前瞻性的**开发， 推动其产品一直处于全球技术**地位。 MKS 的电源，流量测量, 控制（流量计，压力计）和复杂气体相关的工艺监控技术， 改善了设备完好率和产品成品率， 提高了生产产量和产品性能。 MKS 产品起源于我们的压力测量和控制核心技术， 延伸到材料递送, 气体和薄膜成分分析,静电荷控制,工艺控制,信息管理,电源和反应气体发生器及真空技术。MKS主要提供有： 气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。
MKS流量计：
•π系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器
•ALTA® 系列金属密封数字质量流量控制器
•金属和弹性密封型热质量流量控制器
•以压力为基准的质量流量控制器
•实时流量校验器
•流量比例控制器
•质量流量计电源，读数输出及附件
MKS压力计：
•电容式度压力（高精度压力计、常温型工艺测量压力计、加热型工艺测量压力计、高温型工艺测量压力计、差压式工艺测量压力计）
•压力传感器
•工业用传感器
•压力开关
•压力控制子系统
•显示器及电源
气体分析：
•傅立叶变换红外光谱分析仪
•气体分析(残余气体分析RGA、工艺过程检测、大气压下气体分析、工艺过程监控软件)
•泄漏检测(氦质谱检漏仪)
•远程等离子系统(反应室清洗、硅片上工艺)
•臭氧产品系列
等离子电源：
•RF等离子电源(中频、超高频)
•DC等离子体电源
•匹配网络
•测试设备
•RF和DC配件
真空技术：
•不锈钢真空管道和连接件
•单级、多级、特殊真空阀门
•加热带和加热型阀门
•工艺元件
•真空规及传感器