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中文网站：www.dymek.cn
上海分公司：
香港总公司：
00852-24153601
产品简介：
美国AEP 公司专注于表面测量技术开发与应用, 其生产的台阶仪和光学轮廓仪, 厚度、粗糙度、孔深 …等三维空间尺寸测量，并适用于多种产业，例如 : 芯片封装、MEMS 、电路板、 LED、LCD。同时AEP亦开发出实时应力分析及镀膜后的应力测量设备, 以满足高新行业产品微日渐小化与高精度的要求.
NanoMap 500LS 台阶仪特点:
° 结合常规的台阶仪和扫描探针显微镜技术, 双模式操作:
长程扫描: 100mm特长扫描距离
短程扫描: 采用**的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描
范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm
° 标配5寸样品台, 8/12寸可选, 又可订做更大尺寸
° 不用额外付费，AEP 提供3D 测量软件
° 测量数据兼容功能强大的SPIP 分析软件
° 扫描头精心设计，避免因意外触碰引致的损坏
° 实时力量监控: 0.1 — 100 mg
° 同时可选台阶仪和光学轮廓仪的功能，节省空间
° 简易、友好的操作界面
° 探针测量采用高精度的光学传感器
° 长寿命白光LED 照明系统
可放置大样品（图中为200X
双模式光学轮廓仪、台阶仪
超低价！！！
USD28，000
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技术规格 |
软件可控探针压力范围 |
0.1 -100 mg |
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垂直方向解释度 |
1Å |
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台阶高度重复性 |
5Å |
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*大高度测量范围 |
500 um |
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*大样本高度 |
50mm |
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Z轴马达移动范围 |
55mm |
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手动平台旋转范围 |
360° |
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手动平台倾斜范围 |
± 4° |
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探针针尖半径(可选) |
2.5μm、5 μm、12.5 μm、25 μm, 0.2 — 0.8μm |
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短程扫描: (压电陶瓷驱动) |
XY轴解释度 |
0.1 um |
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XY轴定位重复性 |
0.2 um |
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扫描速度 |
10 - 50 um/秒 |
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扫描范围 |
10 - 500um |
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长程扫描 |
样本尺寸 |
150mm x 150mm |
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XY 平台重复性 |
5 um (2um 可选) |
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XY平台扫瞄范围 |
150mm x150mm(200mm可选) |
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*大扫描距离 |
150 mm |
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扫描速度 |
0.1 to5 mm/秒 |
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参考片 |
参考片高度 |
100 micron |
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系统 |
相机视场 |
1.5 x1.5 mm |
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照明系统 |
暗场／明场式 |
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操作系统 |
窗口XP |
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连接 |
USB2.0 |
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电源 |
交流电110/ 240V， 350 W |
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尺寸 |
20”W x22”L x25”H |
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重量 |
160 lb |
