产品目录
- EVG 晶圆封装工艺设备
- DELCOM薄膜电阻计
- FSM
- Schmitt 粗糙度测量仪
- MicroSense振动样品磁强计
- MicroSense电容式位移传感器
- Herzan
- Herz 防振台 隔振台
- Filmetrics光学膜厚测量仪
- 美国4D动态光学干涉仪
- Chaona 3D光学轮廓仪
- FEI 电子显微镜
- Imago 三维原子探针
- BrightSpot
- AEP
- BeneQ
- Bruker 能谱系统
- SNU
- WaveCatcher场地测量服务和工具
- 主轴跳动误差分析仪 主轴运动误差测试系统 主轴误差分析仪
- MKS流量计
- MKS压力计
- MKS残余气体分析仪
- MKS远程等离子体源
- SCI 等离子清洗设备
- Simax 步进式光刻机
- CERES
- CETR
- CleanLogix
- Dover
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- First Nano
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- 其它
- 二手仪器及零件
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产品详情
简单介绍：
First Nano - MOCVD/ VPE 承座(susceptor)干式清洗设备
详情介绍：
MOCVD/ VPE的石墨承座(susceptor)是LED行业重要的一环, 本设备是一台全自动以盐酸气体清洗承座上的III-V族膜层并可对其先进行预处理, 节省成本外还令工艺更稳定, 满足日趋严谨的工艺要求。
优点:
*高工艺温度可达1200°C并兼容氢气及盐酸气体
**的重复性: 没有湿式清洗由水气等引致的工艺差异
湿式清洗会造成承座损伤, 干式清洗令承座有更长的寿命
一台干式清洗设备足以支持五台或更多的MOCVD/VPE设备
更佳的清洗质量
全自动控制及**互锁
高产能- 干式清洗只需两小时, 比湿式清洗的二十四小时大大缩短, 另外不需要烘干水分, 大大节省时间与成本
