产品目录
- EVG 晶圆封装工艺设备
- DELCOM薄膜电阻计
- FSM
- Schmitt 粗糙度测量仪
- MicroSense振动样品磁强计
- MicroSense电容式位移传感器
- Herzan
- Herz 防振台 隔振台
- Filmetrics光学膜厚测量仪
- 美国4D动态光学干涉仪
- Chaona 3D光学轮廓仪
- FEI 电子显微镜
- Imago 三维原子探针
- BrightSpot
- AEP
- BeneQ
- Bruker 能谱系统
- SNU
- WaveCatcher场地测量服务和工具
- 主轴跳动误差分析仪 主轴运动误差测试系统 主轴误差分析仪
- MKS流量计
- MKS压力计
- MKS残余气体分析仪
- MKS远程等离子体源
- SCI 等离子清洗设备
- Simax 步进式光刻机
- CERES
- CETR
- CleanLogix
- Dover
- Essemtec
- First Nano
- Gatan
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- 其它
- 二手仪器及零件
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产品详情
简单介绍：
Gatan - 样品预制系统
详情介绍：
Center Frontier 是由计算机控制的单平台全自动抛光的样品预制系统，它包括对IC和磁头样品预制，应用例如: SEM，TEM，SCM， SIMS ，正面delayering 及PEM，在硅片上，冲模和封装时进行截面和平行面的抛光处理。一前一后设计的一个带CCD摄像头的显微镜和放大倍率达到9000X的成像系统若结合**的亚微米抛光技术使用户更容易达到目标位置，更有清晰度及能更好地进行制程监控。使用计算机控制系统，能更好地利用现有的加工工序，发展新定义的工序，储存图像和测量数据，并能与其它部门或工作点进行信息共享。**的成像处理，自动目标获取，边缘检测，Sagitta在线抛光眼模块，及**的角度控制到-+/-0.1度（EAC）所有这些功能使设备的精度控制达到+/-0.1um。此外，为符合正面delayering 时要求之超高水平精度， 机台X、Y轴准确度可达0.003 度，进行****的正面抛光能力。