产品目录
- EVG 晶圆封装工艺设备
- DELCOM薄膜电阻计
- FSM
- Schmitt 粗糙度测量仪
- MicroSense振动样品磁强计
- MicroSense电容式位移传感器
- Herzan
- Herz 防振台 隔振台
- Filmetrics光学膜厚测量仪
- 美国4D动态光学干涉仪
- Chaona 3D光学轮廓仪
- FEI 电子显微镜
- Imago 三维原子探针
- BrightSpot
- AEP
- BeneQ
- Bruker 能谱系统
- SNU
- WaveCatcher场地测量服务和工具
- 主轴跳动误差分析仪 主轴运动误差测试系统 主轴误差分析仪
- MKS流量计
- MKS压力计
- MKS残余气体分析仪
- MKS远程等离子体源
- SCI 等离子清洗设备
- Simax 步进式光刻机
- CERES
- CETR
- CleanLogix
- Dover
- Essemtec
- First Nano
- Gatan
- Honda Electronics
- Imago
- Invenious
- Kayex
- Laser Prismatics
- LESCO
- MAT
- mks
- n&K Technology
- nPoint
- Polyteknik
- ShB
- Solar Metrology
- SST
- Tailor
- Tau Science
- Thermo Noran
- VIC
- WestBond
- 其它
- 二手仪器及零件
联系我们
中文网站：www.dymek.cn
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产品详情
简单介绍：
MKS - 先进真空工艺设备零件和系统
详情介绍：
美国万机仪器有限公司是全球*有名的先进生产工艺控制设备供货商之一， 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产、 平板显示器、光学储存介质、玻璃镀膜、光电、制药和医学成像设备。我们为MKS香港、中国及菲律宾的授权经销商
产品包括:
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种类
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产品
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应用
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流量测量及控制
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 质量流量控制器质量流量计
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For precision gas flow control for vacuum process
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压力测量
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 Baratron®薄膜电容式高精度压力传感器 |
测量真空舱及抽气管道的工作压力
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 压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪 |
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氦气检漏仪
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 PICO® 手提式氦气检漏仪 (7.7公斤) |
直空舱检漏
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残余气体分析仪
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实时检查工艺时真空舱的气体成分
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真空零件
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 不锈钢真空管道和连接件 真空阀门 (加热功能可选) 蝶阀(用于下游压力控制)  |
一般真空用部件
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离子发生器
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 ASTRON®离子发生器 |
用NF3 等离子清洗PECVD腔体, 减少维护时间, 增大产能
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臭氧发生器
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 SEMOZON™臭氧发生器 |
用于晶体硅电池片清洗及去除有机物
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电源
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 直流电源 射频电源及阻抗匹配器 |
PECVD等真空设备离子源上使用
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