产品目录
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- Schmitt 粗糙度测量仪
- MicroSense振动样品磁强计
- MicroSense电容式位移传感器
- Herzan
- Herz 防振台 隔振台
- Filmetrics光学膜厚测量仪
- 美国4D动态光学干涉仪
- Chaona 3D光学轮廓仪
- FEI 电子显微镜
- Imago 三维原子探针
- BrightSpot
- AEP
- BeneQ
- Bruker 能谱系统
- SNU
- WaveCatcher场地测量服务和工具
- 主轴跳动误差分析仪 主轴运动误差测试系统 主轴误差分析仪
- MKS流量计
- MKS压力计
- MKS残余气体分析仪
- MKS远程等离子体源
- SCI 等离子清洗设备
- Simax 步进式光刻机
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- 其它
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产品详情
简单介绍：
First Nano - 水平型扩散炉 Model Easytube 6000
详情介绍：
太阳能电池应用：
a-Si, mc-Si 镀膜。
各种TCO 镀膜，例如ZnO, SiO2, TiO2。
p-n掺杂 (Doping)。
回火 (Annealing)。
各种抗反射镀膜，例如 : SiN, SiO2。
MEMS应用：
用于掺杂、扩散、氧化、回火、镀膜 …等制程之水平炉管，提供批次式4” 至 12” 晶圆、单层至四层系统。
奈米碳管、奈米线及奈米镀膜应用：
- CNTs、Si, SiGe, ZnO, …等等。
其它产品包括：
PECVD、LPCVD、UHVCVD。
水平炉管 (Diffusion Furnace)。
快速温度处理系统 (Rapid Temp. Processing)。
MOCVD, LPE, VPE (适用于LED、GaN, III-V族 磊晶)。
HCL Etching system (专门清洁MOCVD之susceptor)。
废气处理系统。
石英产品之生产、维修。
欲知详情，请登录:
http://www.firstnano.com/products/easytube6000/
http://www.firstnano.com/products/easytube6000/docs/ET6000.pdf
