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产品名称：Kayex - 硅 / 锗单晶生长炉
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简单介绍：

Kayex - 硅 / 锗单晶生长炉

详情介绍：

1. KX-100PV

太阳能单晶硅生长炉

产能*大化

节约成本

支持20寸热场

规格

单晶直径	150-200 mm (6-8”)
副室高度	1750 mm
喉管直径	305 mm
炉室直径	865 mm
籽晶提升速率	0-508 mm/hr
籽晶快速提升速率	508 mm/min
坩埚*大行程	380 mm
坩埚提升速率	0-254 mm/hr
坩埚提升速率	50.8 mm/min
籽晶旋转速率(可逆)	0-50 rpm
坩埚旋转速率(可逆)	0-20 rpm
主真空泵抽速	5660 l/min (200 cfm)
坩埚旋转速率(可逆)	990 l/min (35 cfm)
投料量	90 kg
二次投料量	115 kg

2. KX100-Ge

锗单晶生长炉
产能*大化
节约成本
支持20寸热场

规格：

单晶直径	150-200 mm (6-8”)
副室高度	1750 mm
喉管直径	305 mm
炉室直径	865 mm
籽晶提升速率	0-508 mm/hr
籽晶快速提升速率	508 mm/min
坩埚*大行程	380 mm
坩埚提升速率	0-254 mm/hr
坩埚快速提升速率	50.8 mm/min
籽晶旋转速率(可逆)	0-50 rpm
坩埚旋转速率(可逆)	0-20 rpm
主真空泵抽速	5660 l/min (200 cfm)
辅真空泵抽速	990 l/min (35 cfm)
投料量	120 kg

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