产品目录
- EVG 晶圆封装工艺设备
- DELCOM薄膜电阻计
- FSM
- Schmitt 粗糙度测量仪
- MicroSense振动样品磁强计
- MicroSense电容式位移传感器
- Herzan
- Herz 防振台 隔振台
- Filmetrics光学膜厚测量仪
- 美国4D动态光学干涉仪
- Chaona 3D光学轮廓仪
- FEI 电子显微镜
- Imago 三维原子探针
- BrightSpot
- AEP
- BeneQ
- Bruker 能谱系统
- SNU
- WaveCatcher场地测量服务和工具
- 主轴跳动误差分析仪 主轴运动误差测试系统 主轴误差分析仪
- MKS流量计
- MKS压力计
- MKS残余气体分析仪
- MKS远程等离子体源
- SCI 等离子清洗设备
- Simax 步进式光刻机
- CERES
- CETR
- CleanLogix
- Dover
- Essemtec
- First Nano
- Gatan
- Honda Electronics
- Imago
- Invenious
- Kayex
- Laser Prismatics
- LESCO
- MAT
- mks
- n&K Technology
- nPoint
- Polyteknik
- ShB
- Solar Metrology
- SST
- Tailor
- Tau Science
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- VIC
- WestBond
- 其它
- 二手仪器及零件
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香港总公司：
00852-24153601
产品详情
简单介绍：
Polyteknik - 真空镀膜设备
详情介绍：
l 度身订做, 可于同一台设备上整合不同工艺:
电子束蒸镀
磁控溅射(直流、射频)
等离子化学气相沉积
HIPIMS（高功率脉冲磁控溅镀，High Power Impulse Magnetron Sputtering）
掠射角沉积（GLAD - Glanced Angle Deposition）
l 加载互锁真空室(Loadlock)及等离子表面处理可选
l 可应用在不同衬底：硅片、高分子材料、布疋、玻璃……
l 由研发用的单片式设备、量产型设备、 卷对卷以至集束型设备(Cluster Tool) 一应俱全
l 良好的镀膜均匀性
l 工艺参数自动记录, 方便日后追踪
l 全计算机自动化控制
l **互锁功能
l 所有部件使用著品牌子, 性能稳定可靠
l 亦提供小批量代工生产及工艺研发
自设实验室设有红外傅立叶分析设备、椭偏仪、X射线成分分析及台阶仪等设备
