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基于微机的精密电感式测微仪的设计

介绍了一种基于微机的精密电感测微仪。分析了影响仪器测量精度的因素，在此基础上通过测量电路的设计，对零点误差进行了抑制，对正弦激励信号进行了稳频和稳幅，同时通过AD和微机对信号进行了数字相敏检波，并利用计算机强大的数据处理能力对数字采样信号进行了处理。通过一系列的实验对该电感测微仪进行了评价，并将其应用于精密测量中。由实验数据和应用实例表明，该测量仪具有良好的性能指标，能在精密和超精密测量领域中使用。

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