新型电平衡式差动电容测微

阐述了新型电平衡式差动电容测微仪的工作原理、硬件结构设计及其软件实现方法。应用LabVIEW对传感器的输出信号进行检测，获得位移数据、曲线和图形。与其他测微仪相比，具有更高的灵敏度、更高的检测精度和更好的线性度。 New　Type　Charge　Balance　Differential　Capacitance　Micrometer
SHEN　Shen-sheng，YANG　Yi，HUA　Liang

(College　of　Electrical　Engineering，Nantong　University，Nantong　226007，China)

Abstract： The　working　principle　of　the　new　type　charge　balance　differential　capacitance　micrometer，the　design　of　hardware　configuration　and　the　achievable　method　of　software　were　described.By　using　LabVIEW　detect　output　signal　of　the　sensor，get　displacement　data，the　curve　and　the　figure.It　has　higher　sensitivity、higher　measuring　precision　and　better　linear　character　than　other　micrometer.

Key　Words： Differential　Capacitance；Capacitance　Micrometer；LabVIEW