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洁净棚的洁净度

洁净棚的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。　洁理室系利用 HEPA 、 ULPA 过滤空气，其尘埃的收集率达 99.97~99.99995% 之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁理室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁理空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。　

风速的控制洁净棚内的气流是左右洁理室性能的重要因素，一般洁理室的气流速度是选 0.25~0.5m/s 之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁理度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁理度水准之时，能以*适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。　
另一方面欲达到洁理室洁理度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁理度事实上很困难。　垂直层流式方向要保持均一气流必须： (a) 吹出面的风速不可有速度上的差异； (b) 地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高 (0.2m/s ， 0.7m/s) 均有涡流之现象发生，而 0.5m/s 之速度，气流则较均一，目前一般洁理室，其风速均取在 0.25~0.5m/s 之间。　影响因素　影响洁理棚的气流因素很多，如制程设备、人员、洁理室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。　

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁理室空间与隔墙板间距 2/3 之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。　
洁理室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁理度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少*低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。　

风机从FFU顶部将空气吸入，经初效过滤器，高效过滤器过滤，过滤后的洁理空气在整个出风面以 0.45m/s ± 20% 的风速匀速送出到洁理棚内。形成均流层，使洁理空气气流呈垂直单向流，从而保证了工作区内所要求的洁理度。

洁净棚是能快速组建的简易洁理室 , 其具有安装快速、施工周期短、价格低廉、移动方便等特点，把主要生产工序控制在较小的环境内也是洁理室设计的*佳选择。

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