X61-1572L-1型研磨机(24B)

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产品名称：X61-1572L-1型研磨机(24B)
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简单介绍

产品编号: 9171464416

产品描述

产品介绍：

该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨。

产品特点：

1、主机启动、停车无抖动、爬行现象，低速运行平稳；
2、下研磨盘主轴采用液**承支承，运转精度高；
3、下研磨盘主轴通过柔性系统将扭力矩传递至液**承��避免了下研磨盘主轴向跳动和径向跳动误差对液**承转动精度的影响；
4、研磨盘、托盘、齿圈及其支架等回转件全做平衡测试整修，排除设备固有扰动。
5、用伺服电机拖动，变速范围广，运动精度高，响应速度快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小；
6、齿圈可自动升降，设有两级**保护。

技术参数：

上研磨盘尺寸	游星片参数(公制)	游星轮数量	修正轮数量	小研磨厚度	大研磨厚度	大研磨直径	气源压力	下研盘端面跳动	太阳轮径向跳动
φ1572mmХφ572mmХ70mm（铸铁）	齿轮Z=152 模数=4 а=20°	5片	4片	0.5\φ200mm；0.4\φ150mm	30mm	φ500mm	0.6-0.7Mpa	≤0.02mm	≤0.15mm

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