一、主要参数:
气体流量测量范围:-300~300sccm
气体流量精度:+/-5%FS
气体流量分辨率:+/-0.1sccm
湿度测量范围:0~100%RH
湿度精度(10%~95%RH):+/-3% ~ +/-5%
湿度分辨率:+/-0.1%RH
温度测量范围:-30~85℃
温度精度(-10~40℃):+/-0.1% ~+/-0.3%
温度分辨率:+/-0.1%℃
供电电压:3.3V
二、应用领域:
医疗工业,家庭应用,HVAC