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高斯计三维探头的应用以及检测标准

  高斯计三维探头的应用以及检测标准
磁场在空间的矢量方向是无法直接感知的，当使用一维传感器测量时，均匀磁场较容易测量，非均匀磁场如果传感器感应区域与磁场方向不垂直的时候，所输出的感应电压或电流无法反映磁场的强度实际大小。所以，要准确测量磁场的大小，必须使用三维传感器进行测量。

  交变磁场在空间中更是以三维矢量的形式存在的，只对矢量磁场的一个或两个分量测量时，探测到的磁场值可能有较大的偏差。

  三维探头的使用使得测量非常便捷，由于是矢量值，不用担心角度是否垂直，还可以通过步进马达和分析软件，划出磁铁的磁力线分布，方便用户对磁铁充磁效果进行分析。

  目前针对三维探头的检测是按照单轴精度来测量，这样测量得出的精度并不准确。三维探头精度的测量还需要对其正交误差进行测量，如果非正交性误差较大，则测出的矢量值是无法满足实际工程应用的。对三维高斯计探头的计量，不应该以 X 、 Y 、 Z 轴各自的精度来计量，应该考虑其正交性。在均匀磁场中，分别以 X Y Z 轴垂直于被测磁场，以 X 轴为例， X 轴*大值的时候， Y Z 轴应该为 0 高斯，如果有数值，就能计算出该方向上的矢量值与实际值的误差，同理 Y Z 轴也同样的方法，根据误差分析原理进行误差计算。

  目前三维高斯计探头，关键技术难点在于无法使三个霍尔传感器两两垂直（正交性达不到要求）。目前的贴片技术无法使微小的传感器两两相互垂直，要使探头达到更高的精度，必须是采用激光雕刻技术在传感器制作过程中使其垂直，得到更好的正交性。

  目前德国以及瑞士在高斯计三维探头上的研究处于**地位，比如德国柯雷技术的三维探头就是采用激光雕刻技术制作而成，产品已经很成熟，已经市场化标准化， 3 个霍尔传感器的感应区控制在 0.1x 0.1 x 0.1 mm3 的空间以内，每个传感器的正交性优于 0.05 度，传感器尺寸 ( 毫米 ) 4 x 4 x 1.5 。

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