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荧光X线膜厚计测定条件表
荧光X线膜厚计测定条件表
測定物組合
測量條件
可測量範圍
鍍層
底材
濾波器
能量範圍
Cr
Fe
無
44 ～53
0.02 ～20um
Ni
無
44 ～58
Cu, Zn, BRS 等
無
44 ～65
Ni
 
(Ni-P)
Fe
無
74 ～89
0.02 ～30um
Cu
Co
62 ～89
BRS
Co
62 ～77
Cu
Fe
無
74 ～96
0.02 ～30um
Zn, BRS
Ni
67 ～96
Zn
Fe
無
74 ～103
0.02 ～45um
Ag
Fe, Ni, Cu, BRS 等
無
189 ～260
0.02 ～50um
Sn
Fe, Ni, Cu, BRS 等
無
217 ～285
0.02 ～90um
Au
Ni
無
92 ～136
0.02 ～8.0um
Cu
無
102 ～136
Sn-Pb
(合金)
Cu
無
    Sn 217 ～ 285
    Pb  98～ 150
在Pb:10W%時 0.1～50um
(會因合金比不同而有改變)
Cr/Ni
Fe
無
Cr 44 ～ 53
Ni 74 ～ 89
 
Cr 0.01 ～ 5.0um
Ni   0.1 ～ 15um
 
Cu
Cr: 無
Ni: Co
Cr 44 ～ 58
Ni 62 ～ 89
Ni/Cu
Fe
Ni: Co
Cu: 無
Ni 74 ～ 89
Cu 80 ～ 96
Ni 0.02 ～ 10um
Cu   0.1 ～ 20um
Ag/Ni
Cu
Ag: 無
Ni: Co
   Ag 189 ～ 260
Ni 62 ～ 89
Ag 0.02 ～ 5.0um
Ni   0.1 ～ 20um
Sn/Cu
Fe
無
    Sn 217 ～ 285
 Cu 74 ～  96
Sn 0.05 ～ 4.0um
Cu   0.1 ～ 20um
Au/Ni
Cu
Au: 無
Ni: Co
    Au 102 ～ 136
 Ni 62 ～ 89
Au 0.01 ～ 2.0um
Ni   0.1 ～ 20um
BRS
Au: 無
Ni: Co
    Au 106 ～ 136
  Ni 62 ～ 77
Ni/Cu
Zn
Ni: Co
Cu: Ni
 Ni  62 ～89
 Cu  67 ～96
Ni 0.02 ～ 10um
Cu   0.1 ～ 20um
Sn/Ni
Cu
Sn: 無
Ni: Co
  Sn 217 ～285
 Ni  74 ～89
Sn 0.05 ～4um
 Ni   0.1 ～ 20um
 
Sn/Cu
 
BRS
 
Cu: Ni
      Sn 217~265
      Cu 73~82
Sn 0.05 ～10um
     Cu 0.1~5 um
Cr/Ni/Cu
Abs
無
      Cr 44 ～ 58
      Ni 62 ～ 89
       Cu 67～96
Cr 0.01 ～ 5.0um
Ni   0.1 ～ 15um
    Cu   0.1 ～ 15 um
Fe
無
      Cr 44 ～ 58
      Ni 62 ～ 89
      Cu 80～ 96
Cr 0.01 ～ 5.0um
Ni   0.1 ～ 15um
    Cu   0.1 ～ 20 um
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