BTF-1200C-III Φ60mm 三温区管式 CVD 设备 ￥122300
一、高温管式炉： 1.品牌：贝意克 2.型号：BTF-1200C-III Φ60mm 3.结构：开启式 4.*高温度：1200℃ 工作温度达 1100℃，主动性炉壳冷却降低炉表温度 5. 额定功率：7KW；额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/6 6.加热元件：电阻丝 7.智能化 30 段可编程控 8.炉管尺寸：高纯石英管Φ60*1400mm，加热区长度：300+300+300mm，恒温区长度：500mm 二、路供气系 1.工作电压：185~245V，50 Hz；*大输出功率：18W 2.流量计标准量程：甲烷 20sccm；氢气 200sccm；氩气 1000sccm、（气体及量程可选） 3.工作压差：0.1~0.5Mpa；*大压力：3Mpa；准确度：±1.5%F.S 4.压力表测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 5.针阀：316 不锈钢 6.混气罐：Φ80*120mm 7.截止阀：Φ6.35mm 三、真空系统 1.VAU-02 低真空机组，内部安装 DRV-10 机械泵 1 台，进口真空计 1 套（型号 PCG550 英福康 INFICON），并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。设备冷态极限真空可达 0.5Pa 四、压力控制系统 1.压力控制系统的控压范围：100Pa~100KPa 2.电容真空计品牌：成都正华；控制精度：测量值±5% 五、安装要求 将管式炉、供气系统、恒压系统组装成一套完整CVD材料生长设备，并正常运行。