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无尘室内用品的管理
无尘室内用品除了进出无尘室用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外,尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等。
洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件,且其布料为不易燃烧、不起毛,其织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物之材质,另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小,洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成,帽子材质则与洁净衣相同,二者在穿戴使用时,除了只露出眼睛和脸表面部分外,其它部分均需包覆,在头部部分连接上衣处也必须全盖住,不能留有空隙,头发亦不能露出来。无尘室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件,容易洗涤,底则采用塑料底,布质部分则采用与洁净服相同材质即可,鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂(Viny1),在使用过程中若有不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用,手套表面有粉质时须去除或停用,原则上不使用有粉之Viny1手套为佳。
洁净衣鞋帽子等须由专人管理,并定期做清洗,清洗须在无尘室内进行。并以纯水配合清洁溶剂,并经约0.2μm之过滤器为之。一般洗涤周期视洁净度等级而定,在高洁净区(CLASS1)为2~3天,其它区域则为五天至一星期,洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所亦须为无尘室,备用品或新品存放柜内,正使用者则吊挂衣架上,以方便取用。
桌椅一般以不锈钢材质,并需表面加工处理为之,若不得不使用镀锌品或木制品,其表面须施环氧树脂(Epxoy)加工以防表面发尘。工作桌*好有打洞,边缘有倒角。以利气流之运动。椅子尽量采用没有背及脚踏板者,椅脚高度以坐下来脚可以触到地板者为原则。但若一定须使用高脚椅时,则要准备脚踏环。桌及椅子之脚*好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。
芯片盒为放置芯片之用,材质以选取择不易摩损、不发尘易清洁之材质如铁弗(Teflon)等,至于搬运车则以构造简单为原则,并忌使用折迭式,材质仍采用不锈钢为宜,车轮为耐磨性高之橡胶轮胎,车轮轴承采用双密封式滚珠轴承。推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。笔记本之纸质应采用无尘纸制成者,且不得使用影印数据,若非万不得已须使用,则须将文件放在透明之塑料套内或加覆背,同时不可于室内撕破或将纸揉成一团,避免造成环境之污染。如表5所示为不同纸张材质发尘量之比较。普通黑板及粉笔当然不能在高无尘室内使用,必要时可在更衣室等无尘室较低等级的区域使用白板。无尘室内不得放置清洁用具,垃圾桶宜使用塑料制品或不锈钢,且置于维修区中的固定位置,桶须覆以盖子,以利管制,并定期清理。
真空吸尘器,其功能是在吸取无尘室内地板上、下及设备上附着之尘粒或液体以防止这些尘粒之再飞扬,以达到清洁的目的,由于真空吸尘器在作业时会有排气产生,若未经处理,将严重影响无尘室之洁净度和气流,因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器,以除去尘埃。唯现今之**无尘室均设有中央式吸尘系统,并于现场预留吸尘口,故一般之清洁过程均利用此中央系统,以减少使用真空吸尘器时的气流干扰,在使用中央式系统时,须注意排气旦之控制避免使无尘室内之压力降低至规定范围以下。至于真空吸尘器因属无尘室内专用,故不可移至室外使用,若不用时应置于较低等级的无尘室中,旦每次使用后应清��吸管、收尘箱等吸气系统。
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