RGA100/RGA200/RGA300残余气体分析仪应用领域:
真空腔残余气体分析;真空腔及阀门检漏;半导体工业:刻蚀、溅射、蒸镀的过程监测;科研高真空领域:表面科学、加速器、扫描电镜、宇航空间模拟室、排气室等;现场大气成分分析(大气污染检测、防化的便携式装备);工业应用:反应气体污染的检测等。
产品特点:
※100, 200和300amu系统 优于1amu的分辨率
※在一次扫描内有6个数量级的动态保存
※可检测大5 x 10-14 Torr
※实时RGA Windows 和 LabVIEW 软件
※现场可替换电子倍增管和灯丝,RS-232 接口