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成功案例

华中科技大学核聚变国家重点实验室使用我公司提供的RGA200残余气体分析仪

       

      


 武汉普斯特仪器有限公司为华中科技大学核聚变实验室提供美国SRS公司生产的RGA200残余气体分析仪(四极质谱仪),进行系统气体质谱分析测试,目前仪器系统运行良好!欢迎广大新老客户来我公司购买RGA200残余气体分析仪(四极质谱仪)。

     

RGA100/RGA200/RGA300残余气体分析仪

应用领域:

真空腔残余气体分析;真空腔及阀门检漏;半导体工业:刻蚀、溅射、蒸镀的过程监测;科研高真空领域:表面科学、加速器、扫描电镜、宇航空间模拟室、排气室等;现场大气成分分析(大气污染检测、防化的便携式装备);工业应用:反应气体污染的检测等。

 

产品特点:

100, 200300amu系统 优于1amu的分辨率

在一次扫描内有6个数量级的动态保存

可检测大5 x 10-14 Torr

实时RGA WindowsLabVIEW 软件

现场可替换电子倍增管和灯丝,RS-232 接口