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TV-2KG分子泵系统
您好,您现在浏览的页面是瓦里安TV-2KG分子泵系统------针对薄膜沉积设备。
镀膜领域的应用包括
·建筑玻璃镀膜,汽车玻璃镀膜,太阳能玻璃镀膜
·平板显示屏镀膜
·光学及电磁数据存储产品的镀膜,如读写探头
·用于增强耐磨性能的表面处理
·用于眼科透镜的光学镀膜及用于光学数据传输上的虑光镜镀膜
·制备功能性薄膜及装饰型镀膜,包括金属化膜层
·可应用于食品工业,包装业及电子产品行业的卷绕镀膜
·可应用于气载叫道的PVD及其它等离子体工艺设备
可靠的设计
TV-2KG分子泵系统身为分子泵的一员,但性能更胜过普通分子泵,它是专为等离子体工艺领域设计开发的抽气系统。事实上,TV-2KG分子泵系统的各抽气级甚至整个泵的结构,都是以能在较高氩气负载和温度条件下保持*佳抽气性能为目标来优化设计的,它的电路系统具有更多附加特性,泵内还集成了放气和抽气阀门,其轴承具有免维护特性,这些优点无疑使TV-2KG成为应用在镀膜行业的*好的分子泵。
独特的拖动级设计
TV-2KG分子泵系统虽然外形紧凑,但其拖动级的独特设计确保了在高原强下对氩气抽气使仍保持大抽气量。拖动级由一体化的两层盘片组成,这样的设计大大提高了散热效率,因而*大程度地降低了泵高速运转时的内部温度。
内置的充气及放气装置
TV-2KG分子泵系统将充气及放气阀集成于泵内,为世界首例。充气保护及放气过程的控制都由内部电路驱动完成,不再需要任何部件置于泵体外部。分子泵在这样周到的保护下,不易受到外部冲击和污染的损伤,因而*大限度地延长了使用寿命。
免维护
TV-2KG分子泵系统配置了Varian独有地轴承和无油润滑系统,可免维护长期运转。另外,它可任意位置安装,而丝毫不会降低其性能和寿命。
内置的温度监测系统
TV-2KG分子泵系统配备了特别的温度控制系统,使其能够实时监控泵的气载,功率,及冷却水温度,确保了材料负荷及轴承负荷在**范围内工作。
内置型具有防水性能的电路系统
TV-2KG分子泵系统所有的电路系统,都置于泵的底壳内,具有防水特性,符合IP54规范。借助微处理器的强大功能,TV-2KG分子泵系统的控制接口能与外部控制系统方便地连接,并通过一台笔记本电脑和Navigator软件轻松实现各种控制。
Tags:
TV-2KG分子泵系统
分子泵系统
薄膜沉积
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