仪器特点
1 非接触式测量，用光纤探头来接收反射光，不会破坏和污染薄膜；
2 测量速度快，测量时间为秒的量级；
3 可用来测薄膜厚度，也可用来测量薄膜的折射率n和消光吸收k；
4 可测单层薄膜，还可测多层膜系；
5 可广泛应用于各种介质，半导体，液晶等透明半透明薄膜材料；
6 软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数，可供用户参考；
7 内嵌微型光纤光谱仪，结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用。
参数和性能指标
厚度范围： 20nm-50um（只测膜厚），100nm-25um（同时测量膜厚和光学常数n，k）
准确度： <1nm或<0.5%
重复性： 0.1nm
波长范围： 380nm-1000nm
可测层数： 1-4层
样品尺寸： 样品镀膜区直径>1.2mm
测量速度： 5s-60s
光斑直径： 1.2mm-10mm可调
仪器成套性
测厚仪主体（内含光源和光纤光谱仪），光纤跳线，光纤探头，标准硅片，支撑部件，配套软件
可扩展性
通过光纤连接带有C口的显微镜，就可以使本测量仪适用于微区（>10um）薄膜厚度的测量。
强大的软件功能
界面友好，操作简便；
可保存测量得到的反射谱；
可读取保存的反射率数据；
可选择是否测量折射率n，消光系数k；
可选择光谱范围；
可猜测薄膜厚度以节省测量时间；
可从大量的材料库中选择薄膜和基底的材料；
用户可自己扩充材料库。