温湿度测量这里所谓的“温湿度”，主要指的是湿度，我们一般也称为相对湿度。该湿度值是一个相对量，需要和温度一起表示出来才有意义。所以经常被称为“温湿度”。目前市场上*主流的温湿度（相对湿度）测量技术是电容法。电容式湿度仪的工作原理：该湿度传感器的工作原理和平板电容类似，是在基层上先覆盖底层电极，上面镀一层亲水性的高分子聚合物，然后覆盖多孔的表层电极。水分子可以自由的通过表层电极的空隙进入或者离开聚合物，改变其介电常数从而改变传感器的电容值。高分子聚合物型的薄膜电容结构，具有超快反应时间，小迟滞和高稳定的优点，同时对于常规腐蚀和污染都具备较强的抗性。除常规性能外，还有两个因素可以用来判定电容式湿度仪的质量高低。
温湿度测量一是隐性的因素：响应曲线，即传感器的电容值和湿度（相对湿度）值的关系曲线。优异的关系曲线需具备两个特性。**，整个测量范围内具有非常好的线性；**，在100%的湿度值变化中，相对应的电容变化量。简单来说，该变化越大越好。好的传感器的变化值起码要在80pF以上。
二是相对显性的因素：表面覆膜保护，虽然直接难以观测到，但可以简单的用实验来证实。没有覆膜保护的传感器不能抗冷凝饱和。一旦有液态水出现，就会损坏传感器。有覆膜保护的传感器不但可以抗凝露，还可以额外提供更好的抗污染性能。
如密析尔仪表（Michell）的相对湿度仪表，如果传感表面上沾有微尘或者污染，都可以浸入洁净水中，轻轻搅动进行清洗。这就是特殊保护层的**性能的体现。
请注意：温湿度测量即使电容式湿度仪如何具备高性能的抗污染性，实际应用中依然强烈推荐在传感探头外采用某种形式的机械防护，如开槽网筛、烧结或聚合防护帽等。