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涂层测厚仪的测量技术
涂层测厚仪的检测工艺：
覆层厚度的检测方法主要有楔切法，光截法，电解法，厚度差检测法，称重法，X射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性检测法及涡流检测法等。这些方法中前五种是有损检测，检测手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。
　　X射线和β射线法是无接触无损检测，但装置复杂昂贵，检测范围较小。因有放射源，用于者必须遵守射线防护规范。X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层检测。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时运用。
　　随着工艺的日益进步，特别是近年来引入微机工艺后，运用磁性法和涡流法的测厚仪向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步。检测的分辨率已达0.1微米，精度可达到1%，有了大幅度的提高。它适用范围广，量程宽、操作简便且价廉，是工业和科研用于*广泛的测厚仪器。
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