1) 精密机械的安装定位
2) 机械产品直线度、平面度、垂直度等精密测量
3) 精密转台回转精度、定位精度测试
4) 光学系统调校,激光投线系统测量
5) 光学平行度及光束角测试
类型\指标
EXP 1020
PRO
STD
EXP
MAT
分辨率(秒)
0.005
0.01
0.02
重复性(秒)
0.03
0.05
0.1
精度(秒)
±20"内
0.15
0.2
0.3
±600"内
0.5
类型指标
分辨率(μm)
重复性(μm)
精度(μm)
备注:以上技术参数均使用300mm桥板标定。
150mm
200mm
300mm
500mm
EXP1020
√
有效孔径
Ф23
Ф20
Ф32
Ф60
视场(X〞/Y〞)
4600〞/3400〞
3300〞/2500〞
2400〞/1800〞
1300〞/970〞
备注:针对特殊要求,可提供定制测试方案。