霍爾效應測量系統詳解
2.1、系統主要功能
1）系統可獲得的數據結果包括：電阻、電阻率、霍爾系數、霍爾遷移率、載流子濃度，
測量數據實時反饋。
2）測量方法：范德寶法，Hall Bar 1221 和1331
3）可測材料：半導體材料、電磁材料、太陽能電池等材料。
4）*系統采用模塊化設計，將來可以擴展AC 模式測量：對于遷移率范圍在1×10-3 到
1 cm²/Vs 的材料（例如目前有很多在研制的低遷移率材料，太陽能電池，薄膜透明氧化
物等）可以進行準確的測量，測量的重復性和穩定性好，克服了直流磁場霍爾效應在測
量低遷移率材料時出現的結果重復性差，P/N 無法準確判斷的問題；將來可以擴展測量
電阻為200 GΩ的高阻材料；
2.2、系統主要技術指標
6）激勵電流：±1pA 到±100mA
*7）電壓：100V
8）電源：雙級四相，電流不低于±70A，電壓不低于±35V，功率不低于2450W
3）電阻率測量范圍：1 × 10-5ohm.cm - 1 × 105ohm.cm
4）遷移率：1 to 1×106cm²/Vs
*5）載流子濃度：8×102 to 8×1023 cm-3
*9）、電源電流波動：額定負載下70A 時5mA RMS(0.007%)，電源穩定性：1mA/小時,
5mA/24 小時
*10）電源可調制頻率：≤0.17Hz 在70A 正弦波正常負載
1）磁場指標：室溫*大磁場1.67 T（變溫*大磁場0.89T）
2）可測電阻范圍：室溫0.5mΩ- 10MΩ（773K 1MΩ，1273K 1KΩ）
2.3、系統配置要求
3）高精度測試儀表，配套的機柜、安裝支架和電纜。
4）安裝系統軟件的計算機一套
1）電磁鐵：磁場間距可變；能提供極好的工作穩定性。
*2）電磁鐵電源：具有直流與交流電流模式；要采用真正的雙極四相限電源，提供平滑
的零磁場轉換功能和斷水斷電保護功能；要求為水冷模式，減少測試噪音，冷卻效果充
分，確保電子器件的有效散熱，設備穩定性好，壽命長。