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椭偏仪儀器的構造

在光譜椭偏仪的測量中使用不同的硬件配置，但每種配置都必須能產生已知偏振態的光束。測量由被測樣品反射後光的偏振態。這要求儀器能夠量化偏振態的變化量ρ。有些儀器測量ρ是通過旋轉確定初始偏振光狀態的偏振片（稱為起偏器）。再利用**個固定位置的偏振片（稱為檢偏器）來測得輸出光束的偏振態。另外壹些儀器是固定起偏器和檢偏器，而在中間部分調制偏振光的狀態，如利用聲光晶體等，*終得到輸出光束的偏振態。這些不同的配置的*終結果都是測量作為波長和入射角復函數ρ。

在選則合適的椭偏仪的時候，光譜範圍和測量速度也是壹個通常需要考慮的重要因素。可選的光譜範圍從深紫外的142nm到紅外的33µm。光譜範圍的選擇通常由應用決定。不同的光譜範圍能夠提供關於材料的不同信息，合適的儀器必須和所要測量的光譜範圍匹配。

測量速度通常由所選擇的分光儀器（用來分開波長）來決定。單色儀用來選擇單壹的、窄帶的波長，通過移動單色儀內的光學設備（壹般由計算機控制），單色儀可以選擇感興趣的波長。這種方式波長比較準確，但速度比較慢，因為每次只能測試壹個波長。如果單色儀放置在樣品前，有壹個優點是明顯減少了到達樣品的入射光的量（避免了感光材料的改變）。另外壹種測量的方式是同時測量整個光譜範圍，將復合光束的波長展開，利用探測器陣列來檢測各個不同的波長信號。在需要快速測量的時候，通常是用這種方式。傅立葉變換分光計也能同時測量整個光譜，但通常只需壹個探測器，而不用陣列，這種方法在紅外光譜範圍應用*為廣泛。
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