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高斯计三维探头的应用以及检测标准
磁场在空间的矢量方向是无法直接感知的,当使用一维传感器测量时,均匀磁场较容易测量,非均匀磁场如果传感器感应区域与磁场方向不垂直的时候,所输出的感应电压或电流无法反映磁场的强度实际大小。所以,要准确测量磁场的大小,必须使用三维传感器进行测量。
交变磁场在空间中更是以三维矢量的形式存在的,只对矢量磁场的一个或两个分量测量时,探测到的磁场值可能有较大的偏差。
三维探头的使用使得测量非常便捷,由于是矢量值,不用担心角度是否垂直,还可以通过步进马达和分析软件,划出磁铁的磁力线分布,方便用户对磁铁充磁效果进行分析。
目前针对三维探头的检测是按照单轴精度来测量,这样测量得出的精度并不准确。三维探头精度的测量还需要对其正交误差进行测量,如果非正交性误差较大,则测出的矢量值是无法满足实际工程应用的。对三维高斯计探头的计量,不应该以X、Y、Z轴各自的精度来计量,应该考虑其正交性。在均匀磁场中,分别以X Y Z轴垂直于被测磁场,以X轴为例,X轴*大值的时候,Y Z轴应该为0高斯,如果有数值,就能计算出该方向上的矢量值与实际值的误差,同理Y Z轴也同样的方法,根据误差分析原理进行误差计算。
目前三维高斯计探头,关键技术难点在于无法使三个霍尔传感器两两垂直(正交性达不到要求)。目前的贴片技术无法使微小的传感器两两相互垂直,要使探头达到更高的精度,必须是采用激光雕刻技术在传感器制作过程中使其垂直,得到更好的正交性。
目前德国以及瑞士在高斯计三维探头上的研究处于**地位,比如德国技术的三维探头就是采用激光雕刻技术制作而成,产品已经很成熟,已经市场化标准化, 3个霍尔传感器的感应区控制在0.1x 0.1 x 0.1 mm3 的空间以内,每个传感器的正交性优于0.05度 , 传感器尺寸(毫米) 4 x 4 x 1.5 。
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