皮秒激光器也称脉宽为皮秒的激光器。现在使用声光调制锁模的二极管泵浦Nd:YAG或者Nd:YLF激光器已经是产生皮秒脉冲的标准光源。由于从振荡器输出的各个脉冲的能量相当低,所以经常需要再生放大器将其放大。在市售的激光器中,谐振腔一般要折叠几次,以缩短系统的总长度。要得到短脉冲,就需要有短的谐振腔和高的调制频率,并需要用泡克耳斯盒将单一脉冲分开,腔的长度就是这两个要求的折中结果。 皮秒激光技术取得的令人瞩目的进展,使 其成为工业微细加工的可靠工具,这些加工在 此前是用其它方法无法完成的。皮秒脉冲宽度 可以和电光弛豫的时间相比较,短到足以对材 料进行“冷”烧蚀。
皮秒激光相比脉冲宽度更短的飞秒激光也 有不少优势,由于不需要为了放大而展宽和压缩 脉冲,皮秒激光器的设计没有那么复杂,因此 成本效益更高,性能更可靠。同时,皮秒脉冲仍 短到足以应付非常**和无应力的微细加工。
皮秒激光几乎可对所有材料进行微米尺度 的加工,这些材料包括但不限于:
金属
半导体
钻石
蓝宝石
陶瓷
聚合物
复合材料和树脂
光阻材料
薄膜
ITO膜
玻璃
太阳能电池片
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