太赫兹时域光谱仪是将成分复杂的光，分解为光谱线的科学仪器，由棱镜或衍射光栅等构成。利用光谱仪可测量物体表面反射的光线。阳光中的七色光是肉眼能分的部分，但若通过光谱仪将阳光分解，按波长排列，可见光只占光谱中很小的范围，其余都是肉眼无法分辨的光谱，如红外线、微波、紫外线等等。
太赫兹时域光谱仪的透射率或它的效率可用辅助单色仪装置来测定。在可见和近紫外实现这些测量没有任何困难。测量通过**个单色仪的光通量，紧接着测量通过两个单色仪的光通量，以这种方式来确定**个单色仪的透射率。
**测量需要知道单色仪的**透射率：对于相对测量，以各种波长处的相对单位可以测量透射率。真空紫外线的这些测量有相当大的实验困难，因此通常使用辅助单色仪。在各种入射角的情况下分别测量衍射光栅的效率。在许多实验步骤中已成功地避免了校准上的困难。
曾经研究过光栅效率与波长、入射角、镀层厚度、镀层材料以及其它因素的关系。所有这些测量都指出，在许多情况下能量损失是非常显著的，并且光栅的效率低于1%，光栅的不同部分可能有明显不同的效率。
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