纳米位移平台采用无铁芯直接驱动直线电机,驱动轴位于纳米位移台的中心线, 这种设计消除了非中心驱动导致的偏航,空回等问题.集成了一个高分辨率(12.5nm)非接触式线性编码器,它为闭环的伺服系统工作操作提供了精密反馈, 它的标准配置就可以提供纳米精度的定位.使用能够了精密的滚珠导向系统确保了位移平台高精度性能和严格的轨迹控制。也适合OEM使用,它具有较低抛面和较小尺寸，采用模块化设计，用户可堆叠使用创建多轴多部件系统。
纳米位移平台特色：
10nm分辨率非接触线性编码系统
双驱动任选:线性伺服或压电驱动
高密度滚珠传导增加稳定性
超紧凑的单轴或双轴纳米位移台
紧凑型封装
可真空使用
超强工作能力，大吞吐量
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