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- 产品名称： 紫外激光光束分析仪
- 产品型号：
- 产品展商：Metrolux
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- 发布时间：2018-09-11
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简单介绍
紫外激光光束分析仪(UV - Laser Beam Profiler)
产品描述
技术参数：
可用于准分子激光器和 Nd：YAG 激光器的高次谐波
相机系统：
• 高动态范围
• 高分辨率紫外转换器
• Homogeneity up to > 98 % over active area
• 延迟时间短
• 损伤阈值高达15 J/cm²
• 单脉冲探测频率达1 KHz(由转换器的延迟时间决定)
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Laser
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Wavelength
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beam size
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F2
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157 nm
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ArF
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153 nm
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NdYag 5th
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213 nm
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< 1mm
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< 5x4
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< 9x6
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< 13x9
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< 18x13
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< 27x20
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<35x27
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<43x32
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< 50x38*
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KrF
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248 nm
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Laser spot
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NdYag 4th
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266 nm
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XeCI
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308 nm
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ML5222 10x
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direct
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ML5201
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ML5202
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ML5203
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ML5204
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ML5205
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ML5206
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ML5207
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XeF
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351 nm
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ML5223 20x
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NdYag 3rd
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355 nm
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ML5224 40x
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* (larger sizes available on request, up to 200
mm
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Software
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ML1201
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beamlux II advanced
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Camera
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ML3720
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1/2” CCD 782 x 582
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ML3743
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2/3” CCD 1392 x 1040
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主要特点：
Features
• 可测量所有的准分子激光器
• 在线质量控制
• real time evaluation of the
laser with 1/10th of a second
• Synchronizes up to three cameras
simultaneously for measurement of raw beam and processing plane
• TCP/IP
remote control to control your laser system from your desk
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