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- 产品名称:Lyncee tec反射式数字全息显微镜
- 产品型号:R2100
- 产品展商:导入的产品
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- 发布时间:2018-11-26
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简单介绍
瑞士Lyncee Tec SA www.lynceetec.com 瑞士Lyncee Tec SA公司的数字全息显微镜“DHM(Digital Holographic Microscopy)是划时代性的高科技技术产品,科学史上**次, 数字全息显微镜可以直接观测到纳米尺度的分辨率,即时得到样品三维型貌,并且是无接触式的无损测量。
产品描述
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反射式数字全息显微镜
反射式配置数字全息显微镜,无需扫描,非接触式测量动、静态物体三维样貌及振动特性的测量方法。根据波长的不同将反射式DHM分为三种型号:
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R1000-配备单一光源,是测量光滑表面和振动的标准测量工具
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R2100-同时配置双波长,实现复杂或不连续结构的测量。
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R2200-在R2100基础上多了第三方光源来扩展测量能力,特别是测量透明模式。
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反射式DHM的特性:
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快速3D样貌测量法
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MEMS分析,*高频率可达25Mh
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DHM测量表面三维样貌,单一响应,无需扫描机制。****的快速采集,相机速度达1000fps允许:
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可变形样品的3D动态研究
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常规检查与高生产率
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短余辉荧光屏及大型表面的分析
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捕捉生产线的三维地貌
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同步DHM 可选频闪单元,测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供:
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三维地貌的时序
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共振频率和响应
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振动振幅平面外分辨率可达5pm,平面内可达1nm
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表征复杂运动和样品
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测量可控制环境条件
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透明模式的地貌测量
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DHM独特的光学配置允许用户测量*佳光学质量指标:
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通过玻璃和浸没液体
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内部��境和真空室,控制温度,湿度,压强,气体成分。
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可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量:
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透明结构的地形
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厚度和折射率,多层结构的厚度值
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从10nm到几十微米
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柔软材料和液体的地形
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反射式DHM主要参数:
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系统
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DHM型号
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R1000
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R2100
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R2200
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光源数量
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1
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2
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3
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操作波长(±0.1nm)
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666nm
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794nm
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666 nm, 794 nm, 680 nm
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激光波长稳定性
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0.01 nm / °C at 666
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样品台
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手动或自动XYZ平台,行程300 mm x 300 mm x 38 mm
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物镜
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放大倍数1.25x到100 x,标准,高数值孔径,长工作距离,水/油浸物镜
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物镜转轮
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六孔转盘
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计算机
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DELL工作站,*新多核Intel处理器,高性能图像卡,配置*小21英寸显示屏及鼠标,
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软件
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基于C++和.NET的Koala软件,额外可选软件模块可用于先进分析
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数据兼容性
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测量数据记录在二进制表格,可导出.txt格式,记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组
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技术参数:
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性能参数
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测量模式
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666nm单波长
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合成短波长4.2um
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合成长波长24um
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DHM型号
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R1000,R2100,R2200
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R2100,R2200
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R2200
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精度[nm]
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0.15
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0.15 / 3.0 *
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20
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垂直分辨率[nm]
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0.30
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0.30 / 6.0 *
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40
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重复性[nm]
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0.01
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0.01 / 0.1 *
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0.5
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垂直测量范围
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up to 200 μm
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up to 200 μm
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up to 200 μm
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锐利边缘*大台阶高度
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up to 333 nm
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up to 2.1 μm
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up to 12 μm
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表面类型
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光滑表面
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复杂,非连续表面
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复杂非连续表面
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垂直校准
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取决于干涉滤光片,±0.1 nm
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响应时间
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标准500us,10us(可选)
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响应速度
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标准30帧(1024*1024像素),可选达1000帧
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重建速率
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高达25帧1024*1024像素全息图(依赖于数据分析)(可选60帧)
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水平分辨率
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取决于物镜,低至300nm
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视野
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取决于物镜,从66um x66um到5um x5um范围
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工作距离
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